Oberflächenveredelung und Dünnschichttechnik
Modifizierung von Oberflächen durch Beschichtung und Abtrag im Mikrometer-Maßstab
Kurzbeschreibung
Modifizierung von Oberflächen durch Beschichtung und Abtrag; Dünnschichttechnik: Prozesse zur Beschichtung (RF-Dioden-Sputtern, chemische Dampfabscheidung, E-Beam-Dampfen) und Abtrag (reaktives Ionenätzen, Nassätzen) im Mikrometer-Maßstab
Raum: D305
Telefon: -3650, -3624
- Produktions-PE-CVD-Anlage mit Spektrometer f. opt. Emissionsspektroskopie, energiedispersivem Massenspektrometer
- High-End-CVD-Anlage mit Diff.-Pumpe und neuentwickelter Kühlfalle
- E-Beam-Aufdampfanlage
- RF-Dioden-Sputteranlage
- Parallelplatten-Reaktor für RIE