Oberflächenveredelung und Dünnschichttechnik
Modifizierung von Oberflächen durch Beschichtung und Abtrag im Mikrometer-Maßstab
![LOD (Foto: David Graupner) LOD](https://mediapool.hm.edu/media/fk06/fk06_lokal/labore_7/oberflaechenveredelung/LOD_Foto_David_Graupner_landscape_m.jpg)
Kurzbeschreibung
Modifizierung von Oberflächen durch Beschichtung und Abtrag; Dünnschichttechnik: Prozesse zur Beschichtung (RF-Dioden-Sputtern, chemische Dampfabscheidung, E-Beam-Dampfen) und Abtrag (reaktives Ionenätzen, Nassätzen) im Mikrometer-Maßstab
Raum: D305
Telefon: -3650, -3624
![Thermisches Verdampfen (Foto: Armin Hadzimujic) Thermisches Verdampfen im Labor für Oberflächenveredeleung und Dünnschichttechnik](https://mediapool.hm.edu/media/fk06/fk06_lokal/labore_7/oberflaechenveredelung/Thermisches_Verdampfen_Detail_landscape_m.jpg)
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