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Alumna der Mikro- und Nanotechnik für Promotion ausgezeichnet

(v.l.n.r.) Prof. Dr. Baier, Oberbürgermeisterin Gertrud Maltz-Schwarzfischer, Dr.-Ing. Marianne Unterreitmeier, Prof. Dr. Rainer Holmer © Bilddokumentation Stadt Regensburg
(v.l.n.r.) Prof. Dr. Baier, Oberbürgermeisterin Gertrud Maltz-Schwarzfischer, Dr.-Ing. Marianne Unterreitmeier, Prof. Dr. Rainer Holmer © Bilddokumentation Stadt Regensburg

[15|11|2021]

Dr.-Ing. Marianne Unterreitmeier erhielt den Regensburger Preis für Frauen in Wissenschaft und Kunst für die Entwicklung einer völlig neuen Methode der Funktionsfähigkeit für Wafers

 

Dr.-Ing. Marianne Unterreitmeier, Alumna des Masterstudiengangs Mikro- und Nanotechnik, erhielt von der Stadt Regensburg den Preis für Frauen in Wissenschaft und Kunst für ihre Dissertation „Contact related Failure Detection of Semiconductor Layer Stacks using an Acoustic Emission Test Method" (Detektion von kontaktinduzierten Beschädigungen an Halbleiterschichten unter Anwendung der Schallemissionsprüfung). Die Arbeit hat Frau Dr. Unterreitmeier bei Infineon Technologies in München, Beiratsmitglied im Studiengang Mikro- und Nanotechnik, durchgeführt.

 

Promoviert hat Marianne Unterreitmeier am Lehrstuhl für Technische Elektronik, Technische Fakultät der Friedrich-Alexander-Universität Erlangen-Nürnberg in Kooperation mit der Fakultät Elektro- und Informationstechnik an der OTH Regensburg. Die Arbeit wurde bei Infineon Technologies in München durchgeführt.

 

Die Jury begründete die Auswahl mit der hervorragenden wissenschaftlichen und praktischen Arbeit der Preisträgerin, die eine völlig neue Methode entwickelt hat, um Siliziumscheiben (Wafers) auf ihre Funktionsfähigkeit zu testen. Sie nutzt dabei in ihrer bahnbrechenden Arbeit Schallemissionen, die z.B. Risse in Echtzeit und mit höherer Genauigkeit detektieren als optische Inspektionsmethoden. Ihr Testverfahren ist deutlich weniger zeit-und kostenaufwändig, wesentlich genauer und zuverlässiger. Sie verbindet damit in ihrer Dissertation wissenschaftliche Tiefe mit Fokus auf die praktische Anwendung in der Halbleiterindustrie, für die die von ihr gewonnenen Erkenntnisse von grundsätzlicher Bedeutung sind.

 

Der Regensburger Preis für Frauen in Wissenschaft und Kunst wird alle zwei Jahre ausgelobt und aufgrund herausragender Leistungen in den Abschlussarbeiten zu den höchsten Qualifikationsstufen der jeweiligen Hochschule oder in Kooperationsprojekten zwischen Unternehmen und Regensburger Hochschulen verliehen. Das Preisgeld beträgt in der Regel 15.000 Euro. Für Frau Dr.-Ing. Unterreitmeier ist das Preisgeld eine Anerkennung für die Mühen einer wissenschaftlichen Arbeit und eine große Motivation ihre wissenschaftliche Karriere weiter zu verfolgen. Daher möchte sie das Preisgeld für Teilnahmen und Beiträge an nationalen oder internationalen Konferenzen verwenden.

 

Kathrin Resch